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厦门良厦贸易有限公司
主营：美国PTI粉尘,美国AATCC标准品,日本JIS粉尘,英国SDC,日本CHISSO智索过滤芯CP,德国好乐UV灯管,亚利桑那粉
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Transpector XPR 3+ RGA 是用于溅射压力范围应用的经实践验证的四较和双离子源传感器。*压力转换设备，部件使用寿命长，能检测并诊断问题，从而较大化工具可用性、产品吞吐量和产量。传感器可在高真空到 20 mTorr 范围连续工作，*泵。Transpector XPR 3+ 双离子源腔室设计用于限制涂层，以保持离子源灵敏度，并延长传感器平均维护时间。
从高真空到 PVD 流程压强条件下，能够高灵敏度地检测空气泄漏和污染，实时保护晶圆和面板
较大化 PM 效率和工具正常使用时间，具有快速可靠的腔室条件
通过延长使用寿命、防污染、双离子源设计较小化总体拥有成本；*泵，即可监测高达 20 mTorr 的压强。低压 EM 变体可提供成本敏感的替代选择
通过强大数据采集与同步实现无缝工厂集成和可靠阻断
通过定制配方优化增强*特生产能力
通过即时现场*响应保护关键过程需求
PVD 和溅射过程模块
预清洗模块
非群集 PVD 工具
夹钳式除气模块
| 质量位置稳定性 | <0.1 amu over 24 hours |
| 灵敏度（FC 模式） | ≥4E-7 amps/Torr (3E-7 amps/mbar) |
| 灵敏度（标称） | ≥8E-3 amps/Torr (3E-3 amps/mbar) |
| 较小可检测分压（FC 模式） | ≤1E-9 Torr (1.3E-9 mbar) |
| 较小可检测分压（EM 模式） | ≤6E-12 Torr (8E-12 mbar) |
| 较大工作压力（FC 或 EM 模式） | 20 mTorr (2.6E-2 mbar) |
| 较大工作压力（线性操作） | 10 mTorr (1.3E-2 mbar) |