INFICON Quantus HP100气体分析仪
  • INFICON Quantus HP100气体分析仪

产品描述

Fe2032-5% Ti020.5-1% AI20310-15% Ca02-5% K202-5%

INFICON Quantus HP100气体分析仪基于自等离子体光发射光谱技术(SPOES),旨在提供半导体制造过程中的实时泄漏检测、端点检测和过程监控。Quantus HP100具有出色的灵敏度,外形紧凑,提供宽广的操作压力范围,*昂贵的泵,因此非常适合大多数半导体工具的过程监控和保护。

特点


氩气的操作范围为1 Torr - 450 Torr,氮气的操作范围为1 Torr - 120 Torr(其他气体种类则有所不同)

低检测限<1 ppm

使用标准KF25连接,安装方便

快速采样(较大20赫兹)

占地面积小(高x宽x长):6.4 x 6.0 x 8.3 in. [162 x 153 x 210 mm]

低维护,不需要泵或消耗品

方便的现场可更换的等离子池

为您的特殊工艺需求提供***支持


规格

操作压力1 Torr - 450 Torr (取决于应用)
光谱仪性能200至850纳米波长(紫外-可见光) 16位全尺度分辨率,3648像素
检测极限< 1 ppm (取决于应用)
时间较少1毫秒
真空配件KF25



http://sj2018315.b2b168.com
产品推荐

Development, design, production and sales in one of the manufacturing enterprises

您是第54106位访客

版权所有 ©2024 八方资源网 粤ICP备10089450号-8 厦门良厦贸易有限公司 保留所有权利.

技术支持: 八方资源网 八方供应信息 投诉举报 网站地图