INFICON Quantus HP100气体分析仪
  • INFICON Quantus HP100气体分析仪

产品描述

Fe2032-5% Ti020.5-1% AI20310-15% Ca02-5% K202-5%

INFICON Quantus HP100气体分析仪基于自等离子体光发射光谱技术（SPOES），旨在提供半导体制造过程中的实时泄漏检测、端点检测和过程监控。Quantus HP100具有出色的灵敏度，外形紧凑，提供宽广的操作压力范围，*昂贵的泵，因此非常适合大多数半导体工具的过程监控和保护。

特点


氩气的操作范围为1 Torr - 450 Torr，氮气的操作范围为1 Torr - 120 Torr（其他气体种类则有所不同）

低检测限<1 ppm

使用标准KF25连接，安装方便

快速采样（较大20赫兹）

占地面积小（高x宽x长）：6.4 x 6.0 x 8.3 in. [162 x 153 x 210 mm］

低维护，不需要泵或消耗品

方便的现场可更换的等离子池

为您的特殊工艺需求提供***支持


规格

操作压力1 Torr - 450 Torr (取决于应用)
光谱仪性能200至850纳米波长（紫外-可见光） 16位全尺度分辨率，3648像素
检测极限< 1 ppm (取决于应用)
时间较少1毫秒
真空配件KF25



http://sj2018315.b2b168.com
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